洁净室的污染源可分为外污染源和内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及供水、溶剂等;而内污染源则包括制造设备、工作人员、工具、加工制造、工作桌、包装材料等。对污染源的控制,其基本原则有以下四点:
一、防止外部尘埃侵入:
洁净室内应保持适当的正压(>5Pa);做好施工工程的不漏气;人员设备、原材料搬入洁净室前先做好清洁擦拭等防尘工作,空气过滤器的管理和设置等。
二、防止室内发尘:
主要控制:无尘室的墙、地板等无尘材料的适当选用、制造设备的发尘控制、洁净室内的员工管理、洁净服的管理、使用洁净室专用器件等。
三、室内发尘不积留:
墙壁体应光滑去死角、洁净室需定期保养和清扫、设备四周应留有空间。
四、及时去除空间尘粒:
换气次数应足够,适当的空间布置以及污染源排气和空调的气流速度须适当。
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